鈦幫浦工作原理,鈦幫浦電流與真空度關係

時間 2022-10-02 17:55:05

1樓:生活達人小桃子

真空的實質就是具有較低氣體分子濃度的空間。因此, 只要降低空間的氣體分子濃度就能獲得真空, 而不必有實際上的排氣過程。鈦幫浦正是基於此原理製造的。

通過加熱、電離等方法使鈦原子與空間氣體分子發生一系列複雜的物理和化學反應, 使氣體分子伴隨鈦原子一起沉積下來, 從而達到降低空間氣體分子濃度的目的。這就是鈦幫浦的基本工作原理。這與壓縮幫浦的原理( 即將氣體從一方壓縮到另一方來獲得真空) 有所不同。

濺射離子幫浦

濺射離子幫浦的原理

早在本世紀初, 就有人在抽真空的電子管中蒸發一些化學活動性強的金屬, 使其與管內未能抽淨的氣體發生反應, 從而降低空間的氣體分子濃度。這種金屬以及起著相同作用的材料就叫做吸氣劑, 這種方法叫做化學清除。實驗證明, 用鈦持續蒸發到乙個冷卻的壁上, 可以形成具有相當抽氣速率的幫浦, 形成簡單的昇華幫浦。

俘獲氣體分子還可以使用電離吸附的方法。利用高速電子轟擊氣體分子可以得到正離子, 正離子在電場作用下被驅逐到負電極上, 中和後由於分子間的范德瓦爾斯力被金屬吸附而不再離開電極。這樣降低了空間氣體分子濃度, 達到了獲得真空的目的。

這種現象稱為電清除, 利用電清除達到除氣目的的幫浦稱為離子幫浦。離子幫浦對吸附的氣體沒有選擇性。

離子幫浦和昇華幫浦都能獲得很高的真空度, 但是單獨使用它們來獲得更高的真空就有很大的困難。這與它們的工作機理有很大的關係。依靠物理吸附的離子幫浦俘獲氣體分子的能力有限; 昇華幫浦產生的化學鍵能雖然大, 但很容易在其表面形成飽和, 影響其進一步吸收氣體, 而且昇華幫浦對惰性氣體吸附效果不好。

因此將兩種幫浦合二為一, 就能得到吸氣效果更好的濺射離子幫浦。

濺射離子幫浦的組成

濺射離子幫浦主要由陽極、陰極、永磁鐵和幫浦體四大部分組成。

陽極是由多個不鏽鋼圓筒排列組成的蜂窩狀結構, 陰極是兩塊平行的鈦合金板, 將陽極夾在中間, 三者相互間保持一定距離並通過高壓絕緣陶瓷連線。陽極施加3~7 kv 直流高壓, 陰極接地。陰陽極板被幫浦體密封在內部, 在幫浦體外部吸附相對放置的兩塊永磁鐵, 磁場方向與極板垂直,

2樓:情感權墨傾宬

在鈦幫浦陽極筒中運動的電子,有軸向速度分量vz和徑向速度分量vr,因為vr與軸向磁場bz垂直,電子會受到洛侖茲力f=evr´bz作用,所以陽極筒內的電子除受到軸對稱的電場力作用外,還受到evr´bz的洛侖茲力作用,電子的運動為軸向的直線運動和橫截面上的輪滾線運動。在橫截面上電子輪滾線運動半徑的大小是電子速度和磁場強度的函式,電子速度愈大(陽極電壓愈高),輪滾線的圈愈大;磁場愈強,輪滾線的圈愈小。當陽極電壓較高時,為了避免電子「滾落」到陽極上,必須加乙個較強的軸向磁場。

在軸線方向,當電子向陽極筒的中心截面運動時,受電場力的加速作用,電子的速度愈來愈大,越過中心截面後,電場力起阻礙作用而使電子做減速運動,靠近陰極板時vz衰減為零,電子重新受電場力的加速作用而反向加速運動,過中心截面後又開始減速,如此不停的重複上述運動。電子在陽極筒中經過很長的路程才落到陽極上。大量電子受磁場約束,以滾輪線的形式貼近陽極筒旋轉,形成一層電子雲。

旋轉電子雲的旋轉頻率約為100兆赫茲量級,電子密度可達1010(個/厘公尺3)量級。上述現象稱為潘寧放電。

氣體分子和旋轉的電子碰撞而被電離,氣體離子在電場的作用下,飛向並轟擊陰極鈦板。離子轟擊鈦板產生兩種作用:1、濺射鈦,形成鈦膜;2、打出二次電子。

濺射出來的鈦原子,澱積在陽極內壁和陰極板上,形成新鮮的鈦膜維持鈦幫浦的抽氣能力。離子的濺射能力隨入射離子的能量、質量和入射角的不同而不同,能量大,質量大的離子的濺射能力也大;斜射比垂直轟擊的效果要好。為了保證陽極筒上的鈦膜的吸氣能力,必須保證足夠的濺射率,即要求有足夠的電壓,以保證離子得到足夠的轟擊能量。

離子轟擊鈦板,可打出二次電子,二次電子受電磁場作用進入旋轉電子雲裡,補充失去的電子。每個氣體分子被電離的同時,都至少放出乙個電子,這些電子也進入到旋轉電子雲裡,它們和二次電子一起補償因跑到陽極上而損失的電子,從而能不斷地維持潘寧放電。

3樓:渴侯含巧

鈦幫浦,就是在裝置製造選材時,利用鈦及鈦合金所具有的耐腐蝕、比重小、強度高、高低溫綜合機械效能好的特點,在過流部件、葉輪以及填料綜合密封等節點使用鈦或鈦合金製造。該幫浦具有優良的耐腐蝕性能,能耐大多數有機酸、無機酸、有機化合物以及鹼、鹽溶液的腐蝕,適於輸送含有固體顆粒、易結晶介質,特別是用於長週期執行,提高了經濟性。克服填料和機械密封的不足,具有結構簡單、密封可靠的優點,也從根本上解決了填料密封的軸套、填料易磨損問題。

廣泛應用於制鹼、製鹽、冶金礦山和石油化工等領域。

在鈦幫浦陽極筒中運動的電子,有軸向速度分量vz和徑向速度分量vr,因為vr與軸向磁場bz垂直,電子會受到洛侖茲力f=evr´bz作用,所以陽極筒內的電子除受到軸對稱的電場力作用外,還受到evr´bz的洛侖茲力作用,電子的運動為軸向的直線運動和橫截面上的輪滾線運動。在橫截面上電子輪滾線運動半徑的大小是電子速度和磁場強度的函式,電子速度愈大(陽極電壓愈高),輪滾線的圈愈大;磁場愈強,輪滾線的圈愈小。當陽極電壓較高時,為了避免電子「滾落」到陽極上,必須加乙個較強的軸向磁場。

在軸線方向,當電子向陽極筒的中心截面運動時,受電場力的加速作用,電子的速度愈來愈大,越過中心截面後,電場力起阻礙作用而使電子做減速運動,靠近陰極板時vz衰減為零,電子重新受電場力的加速作用而反向加速運動,過中心截面後又開始減速,如此不停的重複上述運動。電子在陽極筒中經過很長的路程才落到陽極上。大量電子受磁場約束,以滾輪線的形式貼近陽極筒旋轉,形成一層電子雲。

旋轉電子雲的旋轉頻率約為100兆赫茲量級,電子密度可達1010(個/厘公尺3)量級。上述現象稱為潘寧放電。

氣體分子和旋轉的電子碰撞而被電離,氣體離子在電場的作用下,飛向並轟擊陰極鈦板。離子轟擊鈦板產生兩種作用:1、濺射鈦,形成鈦膜;2、打出二次電子。

濺射出來的鈦原子,澱積在陽極內壁和陰極板上,形成新鮮的鈦膜維持鈦幫浦的抽氣能力。離子的濺射能力隨入射離子的能量、質量和入射角的不同而不同,能量大,質量大的離子的濺射能力也大;斜射比垂直轟擊的效果要好。為了保證陽極筒上的鈦膜的吸氣能力,必須保證足夠的濺射率,即要求有足夠的電壓,以保證離子得到足夠的轟擊能量。

離子轟擊鈦板,可打出二次電子,二次電子受電磁場作用進入旋轉電子雲裡,補充失去的電子。每個氣體分子被電離的同時,都至少放出乙個電子,這些電子也進入到旋轉電子雲裡,它們和二次電子一起補償因跑到陽極上而損失的電子,從而能不斷地維持潘寧放電。

鈦幫浦電流與真空度關係

4樓:匿名使用者

一般不外乎機械、物理、化學或物理化學的方法.

機械法有:

1.變容真空幫浦

它是利用幫浦腔容積的週期變化來完成吸氣和排氣以達到抽氣目的的真空幫浦。氣體在排出幫浦腔前被壓縮。這種幫浦分為往復式及旋轉式兩種。

往復式真空幫浦、旋片式真空幫浦、定片式真空幫浦、滑閥式真空幫浦、餘擺線真空幫浦、液環真空幫浦、乾式真空幫浦、羅茨真空幫浦屬於這一類。

2.動量傳輸幫浦

它依靠高速旋轉的葉片或高速射流,把動量傳輸給氣體或氣體分子,使氣體連續不斷地從幫浦的入口傳輸到出口。

分子真空幫浦水蒸汽噴射幫浦、擴散幫浦屬於這一類。

物理法:

氣體捕集式真空幫浦

是一種使氣體分子被吸附或凝結在幫浦內表面上的真空幫浦,可分以下幾種型式。

1.吸附幫浦,它是依靠具有大表面積的吸附劑(如多孔物質)的物理吸附作用來抽氣的一種捕集式真空幫浦。例如分子篩吸附幫浦。

2.吸氣劑幫浦,它是一種利用吸氣劑以化學方式捕獲氣體的真空幫浦。吸氣劑通常是以塊狀或沉積新鮮薄膜形式存在的金屬或合金。例如鈦昇華幫浦和鋯鋁吸氣幫浦屬於這種型別。

3.吸氣劑離子幫浦,它是使被電離的氣體通過電場或電磁場的作用吸附在吸氣材料的表面上,以達到抽氣目的的。它有如下兩種型式。

1)蒸發離子幫浦:幫浦內被電離的氣體吸附在以間斷或連續方式昇華(或蒸發)而覆在幫浦內壁的吸氣材料上,以實現抽氣的一種真空幫浦。例如軌旋式離子幫浦(或稱彈道式鈦幫浦)。

2)濺射離子幫浦:幫浦內被電離的氣體吸附在由陰極連續濺散出來的吸氣材料上以實現抽氣目的的一種真空幫浦。

4.低溫幫浦,它是利用低溫表面捕集氣體的真空幫浦。

現在鈦幫浦廠資料有哪些?

5樓:匿名使用者

做鈦幫浦生產的廠不少,個人認為,惠爾幫浦業,更靠譜些。

鈦幫浦生產廠資料都有哪些?

6樓:禚瓔

一般不外乎機械、物理、化學或物理化學的方法. 機械法有: 1.

變容真空幫浦 它是利用幫浦腔容積的週期變化來完成吸氣和排氣以達到抽氣目的的真空幫浦。氣體在排出幫浦腔前被壓縮。這種幫浦分為往復式及旋轉式兩種。

往復式真空幫浦、旋片式真空幫浦、定片式真空幫浦、滑閥式真空幫浦、餘擺線真空幫浦、液環真空幫浦、乾式真空幫浦、羅茨真空幫浦屬於這一類。 2.動量傳輸幫浦 它依靠高速旋轉的葉片或高速射流,把動量傳輸給氣體或氣體分子,使氣體連續不斷地從幫浦的入口傳輸到出口。

分子真空幫浦水蒸汽噴射幫浦、擴散幫浦屬於這一類。 物理法: 氣體捕集式真空幫浦 是一種使氣體分子被吸附或凝結在幫浦內表面上的真空幫浦,可分以下幾種型式。

1.吸附幫浦,它是依靠具有大表面積的吸附劑(如多孔物質)的物理吸附作用來抽氣的一種捕集式真空幫浦。例如分子篩吸附幫浦。

2.吸氣劑幫浦,它是一種利用吸氣劑以化學方式捕獲氣體的真空幫浦。吸氣劑通常是以塊狀或沉積新鮮薄膜形式存在的金屬或合金。

例如鈦昇華幫浦和鋯鋁吸氣幫浦屬於這種型別。 3.吸氣劑離子幫浦,它是使被電離的氣體通過電場或電磁場的作用吸附在吸氣材料的表面上,以達到抽氣目的的。

它有如下兩種型式。 1)蒸發離子幫浦:幫浦內被電離的氣體吸附在以間斷或連續方式昇華(或蒸發)而覆在幫浦內壁的吸氣材料上,以實現抽氣的一種真空幫浦。

例如軌旋式離子幫浦(或稱彈道式鈦幫浦)。 2)濺射離子幫浦:幫浦內被電離的氣體吸附在由陰極連續濺散出來的吸氣材料上以實現抽氣目的的一種真空幫浦。

4.低溫幫浦,它是利用低溫表面捕集氣體的真空幫浦。

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