二次電子是怎樣產生的?其特徵是?二次電子的像襯度取決於什麼因

時間 2021-08-14 15:01:01

1樓:匿名使用者

僅供參考

背散射電子像的襯度要比二次電子像的襯度大,二次電子一般用於形貌分析,背散射電子一般用於區別不同的相.

二次電子像:

1)凸出的尖稜,小粒子以及比較陡的斜面處二次電子產額較多,在熒光屏上這部分的亮度較大.

2)平面上的二次電子產額較小,亮度較低.

3)在深的凹槽底部儘管能產生較多二次電子,使其不易被控制到,因此相應襯度也較暗.

背散射電子像:

1)用背散射電子進行形貌分析時,其解析度遠比二次電子像低.

2)背散射電子能量高,以直線軌跡逸出樣品表面,對於背向檢測器的樣品表面,因檢測器無法收集到背散射電子而變成一片陰影,因此,其圖象襯度很強,襯度太大會失去細節的層次,不利於分析.因此,背散射電子形貌分析效果遠不及二次電子,故一般不用背散射電子訊號.

2樓:

產生:被入射電子束轟擊出樣品表面的核外電子特徵:(1)二次電子在表層5-10nm深度發射出來,能量低於50ev。

(2)二次電子產額對樣品表面形貌敏感,而與樣品表面原子序數無明顯依賴關係,因此無法用來做成分分析,經常用來做表面形貌分析。sem的解析度就是二次電子的解析度。

二次電子的像襯度取決於試樣表面相對於入射電子束的傾角,隨樣品表面傾角增加,二次電子發射係數增加。

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